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1、多孔質二氧化硅浸潤法：用氧分解SiCl₄原料，制成多孔質二氧化硅基體，再將該基體浸入到需要摻雜的氧化物的鹽溶液中，干燥后，在加熱使其玻璃化而透明，成為摻雜石英玻璃。該摻雜方法多用制造塊狀或異形摻雜石英玻璃。

2、溶膠-凝膠摻雜法：以硅酸乙酯為原料，將硅酸乙酯、乙醇和水混合后，加入摻雜的氧化劑的氧化物鹽類，使其變為均勻的混合液，將該混合液經水解、凝膠化、收縮固化，成為均勻的膠體，在1100℃下加熱該膠體，從而得到均勻的摻雜石英玻璃。該方法多用于塊狀摻雜石英玻璃。

3、氣相沉積工藝：以SiCl4和摻雜物的低沸點化合物為原料，在一定蒸汽壓下，用氫氣分別對上述液體原料鼓泡帶料，使氣相混合料從燃燒器中心成霧狀噴出，在高溫下水解、融化成均勻的SiO₂-M_xO_y或多元組分玻璃，這種摻雜方法多用于制造管或棒狀摻雜石英玻璃，如光導纖維預制棒和低膨脹石英玻璃等。

4、粉體摻雜：即直接把要摻雜的氧化物和二氧化硅粉料攪拌混勻后熔化成石英玻璃。用這種摻雜方法制造出的石英玻璃微光上摻雜不均勻，優點是節省人力物力，更為可取的是不污染環境，當摻雜量少或對玻璃的均勻性要求不太高時，此方法當屬首選。

5、對二氧化硅粉料進行液體摻雜：將要摻雜的氧化物的鹽類化合物用去離子水溶解，與二氧化硅粉料攪拌均勻，再將干燥煅燒，熔制成石英玻璃。該摻雜方法摻雜均勻，當最大的缺點是，在原料干燥煅燒是，由于摻雜的鹽類分解成氧化物，會產生有害的氣體污染環境，因此，煅燒設備上應安裝廢氣回收裝置，對廢氣進行回收、分解。