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無臭氧石英玻璃原料是在透明石英玻璃原料是在透明石英玻璃原料中加入二氧化鈦，加入方法有三種：液相摻雜法、固相摻雜法和氣相摻雜法。液相摻雜法是將四氯化硅液體溶入鹽酸，將此液體摻入石英粉料中，而后在800℃電爐中煅燒，除去鹽酸。固相摻雜法是將二氧化鈦粉料摻入石英粉中。氣相摻雜法，即化學氣相沉積工藝（CVD法）。液相摻雜的優點是混合比較均勻，缺點原料必須煅燒除酸，固相摻雜比較簡單，但常常摻不均勻，造成石英管有藍線。摻雜量約200×10^-6Ti元素。

UV石英管是石英料中加入氧化鈦和氧化鈰，摻入方法有液相摻雜法和固相摻雜法兩種。

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